Wat is fotolithografie?
Fotolithografie is een van de belangrijke processen bij de productie van geïntegreerde schakelingen (IC's of chips). Simpel gezegd is het het proces waarbij een circuitpatroon op een substraat wordt gekopieerd met behulp van het fotomasker en de fotoresist.
Het substraat zal worden geverfd op een isolatielaag van siliciumdioxide en fotoresist. De fotoresist kan na blootstelling aan UV-licht eenvoudig worden opgelost met een ontwikkelaar, na oplosser en etsen blijft het circuitpatroon op het substraat achter.
Wat is fotoresist? Waarom moet een UV-golflengte van 500 nm worden geblokkeerd?
Fotoresist wordt gecombineerd met harsen, oplosmiddelen en additieven. Het lichtgevoelige bereik van fotoresist is 200 nm-500nm. Daarom zullen veel halfgeleiderlaboratoria geel licht gebruiken dat de UV-golflengte van 500 nm blokkeert om te voorkomen dat de fotoresist overbelicht of voortijdig wordt blootgesteld.
